dhs Spec Intero · Fizeau-Interferometrie

Optische Flächen berührungslos prüfen.

Fizeau-Interferometer als Modul oder komplettes Messsystem – für Planflächen, sphärische Optiken und transmittierte Wellenfronten. Sie schildern uns Ihre Messaufgabe, wir finden die passende Lösung.

632,8 nm HeNe-Laser
Strahldurchmesser bis 102 mm
Zoom bis 6×
Ein Ansprechpartner bis zum Service
Fizeau-Interferometer dhs Spec Intero 100 und Intero 40
Die Herausforderung

Ebenheit und Form präzise prüfen – ohne Kompromisse.

Optische Flächen müssen berührungslos und reproduzierbar geprüft werden – im Labor ebenso wie im Prüfstand. Doch Komplettsysteme passen nicht in jeden Messaufbau, Integratoren fehlt oft das passende Modul, und zwischen Beratung und Service gibt es zu viele Ansprechpartner.

Schritt 1

Messaufgabe klären

Prüfling, Toleranzen, Umgebung und gewünschte Auswertung – wir beraten Sie persönlich.

Weg A

Modul

Für Integratoren, OEMs und Labore mit eigenem Messaufbau – direkt von dhs.

Weg B

Komplettsystem

Das fertig aufgebaute Interferometer – vermittelt über unseren Integrationspartner.

Vier Module. Zwei Baugrößen.

Jede Baugröße gibt es analog (A) für die visuelle Streifenauswertung oder digital (D) mit Kamera und USB-Anschluss.

dhs Spec Intero 40
Kompakt

dhs Spec Intero 40

Für kleinere Optiken und Komponenten – mit besonders kompakter Bauform für die Integration in Prüfstände.

Strahldurchmesser 38 mm
Zoom 3× / 6×, Fokusbereich ±1,5 m
Varianten Intero 40 A und 40 D
Gehäuse 160 × 170 mm (B × H), ca. 7,25 kg
dhs Spec Intero 100
Große Apertur

dhs Spec Intero 100

Der Standard für Planoptiken und Komponenten bis 4″ – in Optikfertigung, Wareneingang und Labor.

Strahldurchmesser 102 mm
Zoom 1× bis 6×, Fokusbereich ±2,0 m
Varianten Intero 100 A und 100 D
Gehäuse 190 × 226 mm (B × H), ca. 14 kg

Analog oder digital?

Jede Baugröße gibt es in zwei Ausführungen. Wir beraten Sie, welche zu Ihrer Messaufgabe passt. Auch für bestehende Interferometer der FI-Baureihe bieten wir Wartung, Justage, Ersatzteile und Schulung.

Analog (A)
Visuelle Auswertung
Videoausgang (BNC, Adapter auf Cinch) – direkt an einen Monitor anschließbar
Digital (D)
Auswertung am Rechner
ein USB-Anschluss – kein Framegrabber, auch am Laptop
Bedienung
Zoom, Fokus, Dämpfer
sowie Strahlblende bequem von oben bedienbar
Kameras (D)
Zwei CMOS-Kameras
für Messen und Ausrichten
Auswertung (D)
statisch und phasenschiebend
vorbereitet für beide Verfahren
Preis
auf Anfrage
Modul oder Komplettsystem
Messprinzip

So misst ein Fizeau-Interferometer.

Referenz- und Messstrahl überlagern sich zu einem Streifenbild. Jeder Streifen entspricht einer Höhendifferenz von einer halben Wellenlänge – bei 632,8 nm also 0,3164 µm.

Laserstrahl wird an der Referenzfläche teilweise reflektiert und am Prüfling zurückgeworfen; beide Strahlen überlagern sich zum Interferogramm
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Strahl aufweiten

Der HeNe-Laser wird aufgeweitet und als paralleler Strahl ausgegeben.

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Referenz bilden

Die Referenzfläche (TF oder TS) reflektiert einen kleinen Teil zurück.

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Zwei-Punkt-Ausrichtung

Referenz und Prüfling werden über das Fadenkreuz schnell zueinander ausgerichtet.

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Interferogramm lesen

Die Streifen zeigen die Formabweichung wie Höhenlinien einer Landkarte.

Was Sie messen können.

Ein Modul, viele Messkonfigurationen – mit passender Referenzoptik und Halterung.

streifen-planflaeche

Planflächen

Ebenheit von Fenstern, Spiegeln und Referenzflächen – gerade Streifen zeigen eine ebene Fläche.

streifen-sphaere

Sphärische Flächen & Radius

Formabweichung konvexer und konkaver Optiken; Krümmungsradius über Cat’s-Eye- und konfokale Position.

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Planparallele Platten

Parallelität und beide Seiten einer Platte – mit sauberer Trennung der Reflexe.

streifen-wellenfront

Transmittierte Wellenfront

Homogenität und Spannungen im Werkstoff, gemessen im Durchlicht gegen einen Referenzspiegel.

streifen-reflektierend

Stark reflektierende Flächen

Mit optischem Dämpfer für optimalen Streifenkontrast auch bei hochreflektierenden Prüflingen.

streifen-prismen

Prismen & Komponenten

Prüfung optischer Bauteile und Baugruppen in Fertigung und Wareneingang.

Technische Daten.

Beide Baugrößen im direkten Vergleich – jeweils für die analoge und die digitale Ausführung.

Betrieb
15 bis 30 °C
5 bis 95 % rel. Feuchte, nicht kondensierend
Optimale Messung
20 bis 23 °C
Schwankung unter 1 °C pro 15 Minuten
Aufstellung
Schwingungsisolierung
für 1 bis 120 Hz empfohlen
Anschluss
115 / 230 V AC
automatische Umschaltung
MerkmalIntero 40 A / DIntero 100 A / D
Strahldurchmesser38 mm102 mm (4″)
Zoom3× / 6×1× bis 6×
Fokusbereich±1,5 m±2,0 m
BildausgabeA: Video (BNC) · D: USBA: Video (BNC) · D: USB
Kameraauflösung (D)640×480 / 1k×1k640×480 / 1k×1k
LaserHeNe 632,8 nm, Klasse 2HeNe 632,8 nm, Klasse 2
Genauigkeit*λ/100λ/100
Wiederholgenauigkeit*ca. 0,1 nm RMSca. 0,1 nm RMS
Höhenauflösung*λ/8000λ/8000
Gehäuse B × H160 × 170 mm190 × 226 mm
Füßehöhenverstellbar 40–60 mmhöhenverstellbar 40–60 mm
Gewichtca. 7,25 kgca. 14 kg

* Werte bei digitaler, phasenschiebender Auswertung. Auswertesoftware ist nicht Teil des Moduls.

Erzählen Sie uns von Ihrer Messaufgabe.

Wir melden uns persönlich und klären, ob ein Modul oder ein komplettes System die richtige Lösung ist.

Direkter Kontakt.

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+49 2779 9120-0
E-Mail
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